企业信息

.用途：此真空镀膜机是镀制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AF+AS膜）型光学镀膜机，应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性，运动模式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载能力大，可充分利用有效空间的真空镀膜室，是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵，扩散泵，管道和阀门组成。为了提高泵的流量，可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此，不仅在较短的时间内低压力以保证快速的工作循环的排气系统，还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制

3.特征：磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布

4.配备：配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性；用于防污膜（AS 膜）批量生产；防污膜（AS 膜）批量生产。

5.性能：达到压强7.0E-5Pa以下

6.配置参数：

OTFC-1550光学镀膜机配置

真空室：SUS304,Ф1550*1800MM

工件架：Ф1400

工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)

光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A

光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式

水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源：2套日本电子24P双枪

离子源：23 寸光驰RF离子源

排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵

性能

达到压力：7. 0X10-5Pa以下

排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)

基板温度：: 350C

工作条件

电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA

水流量：180升/分以上

空气压力：0.5MPa以上

重量：约11000kg

订购说明

镀膜机设备清单

镀膜机清单
品牌	规格（MM）
日本光弛	1300.1550.2350
日本新科隆	1350
韩国韩一镀膜机	900.1200.1600.2050
韩国联合镀膜机	1650.205
莱宝镀膜机	APS1100
闽台龙翩	1400.1650.1800
成都南光	1100 1300