二手光驰OTFC-1300 OTFC-1550带涉频源镀膜机设备介绍
二手日本光驰OTFC-1550镀膜机 光学机 电镀机配置表:OTFC-1550光驰镀膜机(年份: 2016. 11)
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真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术,该设备以一种特殊的高分子二聚体为基材,通过化学气相沉积工艺,真空状态下,在PCBA的表面形成一层无色透明的高分子薄膜,该膜层有细密、全覆形、耐酸碱、抗冷热冲击等显著优点,防水等级也能做到IP68,解决了传统三防漆防护级别低、对环境有污染等诸多问题在镀膜领域,镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此,当评价某薄膜样品的性能时,需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形,这往往需要进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题:首先,不同次生长的样品,仪器的状态不同,以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度;其次,真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得,非常耗时。增加了生产和检测的成本。
因此,提供一种多功能磁控溅射镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除**大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,**了高性能、大面积**光电器件和电路的制备。
多功能磁控溅射镀膜系统主要用途:用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、**导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜。
厂商 | OPTORUN | OPTORUN | SHINCRON |
型号 | OTFC1300C | OTFC1300DB | BMC1300DDI |
序列号 | S0019 | S0567 | 980051 |
电子枪(双电子枪有无) | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN |
坩埚点数 | 24点+28点 | 24点x2 | |
旋转泵 | VS2401 | MTR | |
机械升压泵 | EH500 | MTR | |
扩散泵 | 冷冻U20Px2台 | 22’x2台 | 28’x2台 |
冷冻机 | 无 | Polycold PFC-670HC | Polycold PFC-550HC |
离子枪(射频离子源) | 有 | 无 | RIS-1200-2 |
光学检测有无(光控/精控) | 有 | 有 | 有 |
基板加热heater有无 | 有 | 有 | 有 |
回转 | 中心回转 | 中心回转 | 中心回转 |
镀膜机设备清单
镀膜机清单 | |
品牌 | 规格(MM) |
日本光弛 | 1300.1550.2350 |
日本新科隆 | 1350 |
韩国韩一镀膜机 | 900.1200.1600.2050 |
韩国联合镀膜机 | 1650.205 |
莱宝镀膜机 | APS1100 |
闽台龙翩 | 1400.1650.1800 |
成都南光 | 1100 1300 |
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