设备介绍
OTFC-1300MM日本光驰带涉频源真空镀膜机
此设备有射频源,单枪,扩散泵深冷和煮蒸,设备保养的相当的,还在生产线上使用中的设备,日本原装的,可以含安装免费用教工艺!
厂商 | OPTORUN | OPTORUN | SHINCRON |
型号 | OTFC1300C | OTFC1300DB | BMC1300DDI |
序列号 | S0019 | S0567 | 980051 |
电子枪(双电子枪有无) | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN | JST-10F-2GUN |
坩埚点数 | 24点+28点 | 24点x2 | |
旋转泵 | VS2401 | MTR | |
机械升压泵 | EH500 | MTR | |
扩散泵 | 冷冻U20Px2台 | 22’x2台 | 28’x2台 |
冷冻机 | 无 | Polycold PFC-670HC | Polycold PFC-550HC |
离子枪(射频离子源) | 有 | 无 | RIS-1200-2 |
光学检测有无(光控/精控) | 有 | 有 | 有 |
基板加热heater有无 | 有 | 有 | 有 |
回转 | 中心回转 | 中心回转 | 中心回转 |
OTFC-1300MM日本光驰带涉频源真空镀膜机的主要分类
主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
厚度均匀性主要取决于:
1。基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3. 蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
一般来说,光学薄膜的生产方式主要分为干法和湿法的生产工艺。所谓的干式就是没有液体出现在整个加工过程中,例如真空蒸镀是在一真空环境中,以电能加热固体原物料,经升华成气体后附着在一个固体基材的表面上,完成涂布加工。日常生活中所看到装饰用的金色、银色或具金属质感的包装膜,就是以干式涂布方式制造的产品。但是在实际量产的考虑下,干式涂布运用的范围小于湿式涂布。湿式涂布一般的做法是把具有各种功能的成分混合成液态涂料,以不同的加工方式涂布在基材上,然后使液态涂料干燥固化做成产品。
设备图片
镀膜机清单
镀膜机清单 | |
品牌 | 规格(MM) |
日本光弛 | 1300.1550.2350 |
日本新科隆 | 1350 |
韩国韩一镀膜机 | 900.1200.1600.2050 |
韩国联合镀膜机 | 1650.205 |
莱宝镀膜机 | APS1100 |
闽台龙翩 | 1400.1650.1800 |
成都南光 | 1100 1300 |